证券研究报告东吴证券SOOCHOWSECURITIES2026年度半导体设备行业策略看好存储&先，进逻辑扩产。设备商国产化迎新机遇首席证券分析师:周尔双执业证书编号:S0600515110002zhouersh@dwzq. com. cn 13915521100证券分析师:李文意执业证书编号:S0600524080005liwenvi@dwzq.com cn 188671362392026年2月27日请务必阅读正文之后的免责声明部分
投资要点东吴证券DOCHOWSECURITIEAI驱动先进逻辑与存储扩产，资本开支进入新一轮上行周期。在AI算力需求爆发背景下，全球半导体设备市场规模持续创新高，先进逻辑端，FinFET向GAACFET演进，5nm及以下制程单位产能设备投资额显着提升，单万片/月产能投资额较28nm提升数倍;存储端，HBM带动DRAM高阶制程升级，3DNAND向400层以上堆叠演进,单万片产能投资额同步提升。中国大陆圆产能全球于销售比逻辑与存储龙头资本开支维持高位，叠加两大存储厂商上市融资在即、扩产动能具备持续性,支撑前道设备景气度中长期上行。制程迭代推动设备结构升级,刻蚀与薄膜沉积价值量提升。先进制程结构复杂化带动图形化环节投资强度提升。逻辑端GAA结构、存储端高层数3D堆叠，对高深宽比刻蚀(HAR)、高选择比刻蚀(AIE）以及AID等原子级沉积技术提出更高要求。刻蚀与薄膜沉积在前道设备中的价值占比位居前三,且随制程演进呈提升趋势。多重曝光、先进金属材料替代及新型结构引入,使设备数量与工艺复杂度同步提升,设备投资呈现“技术节点越先进、单位投资越高"的乘数效应,核心平台型设备商与细分龙头有望持续受益外部制裁强化自主可控逻辑，国产替代进入加速阶段。美国、荷兰、日本持续强化对14nm及以下先进制程设备出口限制,中国大陆作为全球最大设备需求市场,进口依赖度较高的涂胶显影、清洗、量检测、光刻等环节国产化率仍低干25%、在政策支持与大基金三期落地背景下,国内晶圆厂扩产将更加倾向产备采购。测算显示半导体设备整体国产化率已由2017年的13%提升至2024年的20%,预计2025年达22%,仍具备广阔提升空间。平台型厂商复盖面扩大、技术持续突破,将在先进制程与先进封装领域获得更大份额。投资建议:重点推荐前道平台化设备商【北方华创】【中微公司]低国产化率环节设备商源微】科飞测]【精测电子】,薄膜沉积设备商【拓荆科技][微导纳米]，后道封装测试设备【华峰测控】【长川科技【迈为股份]:零部件环节【新莱应村】【富创精密】[晶盛机电][英杰电气]【汉钟精机]。风险提示:半导体行业投资不及预期,设备国产化进程不及预期,技术迭代及工艺路线变化风险。
目录东吴证券DCHOWSECURITIE一、国产设备商业绩高增,持续加大研发投入二、看好先进逻辑+存储扩产，技术节点进步带来资本开支持续上行三、制程迭代带动设备放量,设备商刻蚀、蓝膜沉积形成差异化布局四、看好外部制裁加码&内部政策支持,设备商技术持续进步带来国产化率提升五、AI国产算力快速发展,看好先,进封装高端测试机产业机遇六、本土重占公司七、投资建议与风险提示
1.1业绩端:半导体设备公司营收业绩延续高速增长势头东吴证券OCHOWSECURITI我们选取14家半导体设备行业重点标的:北方华创、图:2024&202501-03归母净利润同比+15/+28%中微公司、拓荆科技、华海清科、盛美上海、长川科归母净利润(亿元)同比增速140180%技、芯源微、华峰测控、先导基电、精测电子、至纯119.012069%70%110.4科技、赛腾股份、微导纳米、中科飞测64%103.160%半导体设备公司营收&业绩延续高增长。2024810050%8202501-03十四家半导体设备企业合计实现营业收40%入732.2/648.0亿元,同比+33/+32%:2归母净利润44.928%30%119.0/110.4亿元,同比+15/+28%:扣非归母净利润20%104.2/98.0亿元,同比+30/+27%,半导体设备公司营收心10%&利润端延续高速增长势头,表现亮眼10%202020212022202320242025Q1-Q3图:2024&202501-03半导体设备行业营收同比+33/+32%图:2024&202501-03扣非归母净利润继续高增打非归母净利润(亿元)同比增速营业收入(亿元)同比增速120140%800732.260%128%104.2648050%118%98.0120%51%10048%551.980.2100%40%417.562.680%30%276.732%33%32060%20%30%40%186.728%10%2012.627%20%o0
12盈利能力:半导体设备持续维持高研发投入东吴...
