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机械设备:产业生态逐步形成,国产替代加速,战略看好半导体设备板块会员免费

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2 / 31 1. ..... 3 2. ................. 4 2.1. .............................. 4 2.2. + ........................................................................ 5 2.3. ................................................. 5 3. .................... 7 3.1. .............................................................................. 7 3.2. 14nm202058% ................................................ 9 3.3. 28nm .............................................................. 12 3.4. 643/128 ..................................................... 13 4. 1N ......................... 14 4.1. ....................................... 14 4.2. ................................................................. 15 4.3. ............................ 22 4.4. ......................................................................................................... 24 4.5. ..................................................................... 24 4.6. .......................................................... 25 4.7. ATESOC ........................................ 26 4.8. STI.......................................................... 27 4.9. .................................... 28

3 / 311. 2016/20173-4246,800 1 14nmFinFET 20192019Q41%12nm202031.6058% 228nm14nm2020201991255nm 3642019Q32020645/20215/64128 420199DRAM10nm8Gb DDR412 0214nm 011N2017-202014%2%25%PVD17%CVD2%CMP14%22%3%011281N 1387500067%17%10%6%

4 / 31 2. 2.1. 2050AMD 207080 1987 2090DRAMDRAM90PC 21PC

5 / 3111950s1960s1970s1980s1990s20PC)//5G/AI/IoTMPU)DRAMASIC&DRAMSOC) 2.2. 2014202020%203016/14nm 20251220157020251002030150202514nm 201491,3875000 2.3. 2016/20173-4246,800

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7 / 31 3. 3.1. 10nm-7nm-5nm5GAIIoTIC28nm-14nm-10nm7nm-5nm-3nm 7nm-5nm-3nm 20187nm20205nm7nm20197nm355nm201920203nm202063nm10 5nm201945nm2020 5nm20205nm3nmGAAFET3nm2021GAAFinFETFinFET5nm3nm35%50%30%20213nm20223nm 14nm/12nm FinFET22nmFD-SOI201912nm FD-SOI16nm FinFET12nm50%10nm FinFET7nm5nm 3nm14nm/12nm FinFET12nmFD-SOI12nm FD-SOI Intel201910nm10nm7nmIntelIntelintel20217nm202220237nm+5nm2021

8 / 31 EUVDRAMDRAM2020DDR510nm16GB32GB 14nmFinFET 201920191%202014nm1.3% 2020619A141420040%(14nm)14FinFET143.560003.5 2020 14nm12nm202012nm FinFET 14nm28nm14nm202014nm201991255nm12 NANDDRAM 3D NAND24030 6420199612820204128QLC 3D NAND2020645/12820215/6412810 2020620 20199DRAM 10nm8Gb DDR4 122020DDR4LPDDR4 DRAMDDR5LPDDR5GDDR6

9 / 31 28nm/14nm7nm/5nm 23.2.

10 / 310.35μm1420010.18μm2014128nm2828nm2015314nm FinFET18191120202014202016 14nm177nm19214nm FinFET12nm FinFET 220010.18μm 2012Q328nm2013.928nm 40n...

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