半导体设备行业系列研究十：存储器扩产浪潮已至，国产设备千帆竞发-广发证券会员免费优质

识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 1 / 27 [Table_Page]行业专题研究|机械设备 2020 年 2 月 18 日 证券研究报告 半导体设备行业系列研究十存储器扩产浪潮已至，国产设备千帆竞发 分析师：周静分析师：罗立波分析师：许兴军SAC 执证号：S0260519090001SAC 执证号：S0260513050002SAC 执证号：S0260514050002021-60750636021-60750636021-60750532zhoujing@gf.com.cnluolibo@gf.com.cnxuxingjun@gf.com.cn分析师：代川SAC 执证号：S0260517080007SFC CE.no: BOS186021-60750615daichuan@gf.com.cn请注意，周静,罗立波,许兴军并非香港证券及期货事务监察委员会的注册持牌人，不可在香港从事受监管活动。 核心观点：国内存储器投资： 2020 年有增速向上拐点, 中长期具备巨大潜力。当前中国存储器产业面临历史性机遇，促使国内存储器厂商积极进行工艺研发与产能建设，长期性与规模性的下游投资将对国产装备创造极佳的成长环境。其中长江存储与合肥长鑫都将在 2020 年进入积极的产能爬坡期，预期将促使设备需求大幅增长。根据集邦咨询数据，19 年 Q4 长江存储产能 2 万片/月（12 英寸），2020 年底有望扩产至 7 万片/月；合肥长鑫目前产能已达到 2 万片/月，预计 2020 年第一季度末达到 4 万片/月。我们测算 2020-2022 年本土存储器厂设备投资分别为 291.9 亿元/519.7 亿元/860.4 亿元，分别同比增长 231%/78%/66%。本土存储器厂国产化逻辑清晰，助力国产装备加速发展。由于对成本更加敏感，以及采用 IDM 模式、设备自主权更高，预期本土存储器厂更加积极的引入国产装备。根据中国招标网，截止 2020 年 2 月长江存储主要设备国产化率总体为 7.1%，其中 2020 年前两个月国产装备中标比例达到 14.3%，提升显著。后续随着后期国产装备逐步验证通过，以及晶圆厂工艺顺利进展、逐步提升产能，国产化率有较大提升空间。根据测算，如果 2021年国产化率达到 15%~20%，本土存储器厂的国产装备市场将达到 78.0 亿元~103.9 亿元，有望突破百亿空间。关注存储器发展对半导体设备需求趋势影响。（1）刻蚀设备。趋势一，先进制程与存储技术推动刻蚀设备投资占比提升；趋势二，3D NAND 要求刻蚀技术实现更高的深宽比；趋势三，刻蚀精度要求提升，推动 ICP 刻蚀设备占比提升。（2）测试设备。国内存储器厂建设，将直接推动存储器测试设备快速增长。根据爱德万公司预测，预计 2020 年全球存储器测试设备市场空间 8 亿美元，同比增长 23.1%。（3）过程工艺控制。高深宽比存储结构带来的良率控制难题。根据 Gartner，2018 年全球半导体过程工艺控制设备市场空间 58 亿美元，其中缺陷检测、测量设备市场分别为 34 亿美元、22 亿美元。（4）清洗设备。清洗步骤不断增加，清洗更具挑战性与关键性。在 20nm 及以上领域，清洗步骤数量占到所有工艺步骤数量的 30%，最多可重复 200 次。投资建议：国内存储器厂的积极投资，将助力国产装备加速发展。建议关注国内从事半导体设备优质厂商：北方华创（电子小组覆盖）、中微公司*、精测电子*、至纯科技、芯源微*、盛美半导体（ACMR.O）、长川科技*、华兴源创*、晶盛机电*。（标*表示与广发电子、电新等小组联合覆盖）风险提示：行业投资波动带来的收入不确定性；行业竞争加剧导致毛利率下滑；技术研发及国产化趋势推进不及预期；国家产业扶持政策变化或扶持力度不及预期。

识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 2 / 27 [Table_PageText]行业专题研究|机械设备 重点公司估值和财务分析表股票简称股票代码货币最新最近评级合理价值EPS(元)PE(x)EV/EBITDA(x)ROE(%)收盘价报告日期（元/股）2019E2020E2019E2020E2019E2020E2019E 2020E中微公司688012CNY205.482019/11/26 买入74.700.370.51555.7403.1191.57100.405.16.7精测电子300567CNY68.052020/2/5买入70.221.111.7658.637.040.1927.7519.123.2华兴源创688001CNY55.332019/6/21--0.751.0073.455.0--13.515.4北方华创 002371CNY146.42020/2/4买入136.20.681.26215.3116.294.9164.665.59.5...